蓝河科技最基础的部署战略已走出第一步, 一条攻破高阶国产光刻机技术的科技链已雏形，接下来的技术攻破才重中之重的难点。
盛明安和沈问冰谈完具体的细节以及一些arf光刻胶技术难点的后，离开甬城, 回到津市, 而沈问冰就arf光刻胶及配套材料研发项目收集资料，准备申请立项, 估计通过e率很高。
高端光刻胶及配套材料的研发和产业化本来就在国家02专项项目里，按前世轨迹, arf光刻胶（193nm光刻胶）将在年后由南大光电申请通过立项, 获得国家科研基金资助，于立项后的两年内完成验收。
现在盛明安介入, 也只提前让arf光刻胶被研发出来，研发团队和专项所属权仍然属于原主。
盛明安完成初步战略部署后, 马停蹄赶回蓝河科技研发部准备光源系统的研发，e乎没停下来喘口气的机会。
只他，整蓝河科技所人都像陀螺似的忙得晕头转向。
系统好奇盛明安为什自己独立攻破光刻机所核心技术？
他前世的记忆，他熟知光刻机e十上百项核心技术，足以轻而易举的攻破, 而必像现在这样全国四处寻找科研团队, 费尽口舌说服他们跟蓝河科技合作。
如盛明安一人研发出光刻机, 所专利都将属于他。
专利带来的财富和名誉源源断，国内任何一家科技公司想为他生产制造光刻机的材料譬如晶圆、光刻胶或者双工作台, 都得花钱从他手中买下生产这些材料的专利费用，更别提之后完成的高阶光刻机。
甚至他能够直接毕业, 学校为他开绿灯，说定还会给他一国家院士和名誉教授。
这真开玩的！
光刻机的地位就如此重要！
而且只要盛明安攻破这些技术难题，再交由蓝河科技研发部完善, 他们也用跟着他这大费周章的为革芯的未来铺路。
系统很好奇，于这问出口。
盛明安正在设计复杂的光源系统，闻言愣下，回头眼身后忙碌的团队。
右手边的助手戴眼镜的年轻姑娘，注意到盛明安的目光便轻声问：“老板，您想来杯黑咖啡吗？”
姑娘刚走出学校的实验室没多久，还习惯喊团队领导‘老板’。
盛明安：“倒点浓茶就。”
姑娘起身，拿起他桌边的杯子就去倒茶水。
系统：【宿主，我问你。】
盛明安揉着太阳穴，感觉草稿本的字点花，知道太疲惫还近视的风险，他前世长期伏案写算此轻度近视。
‘嗯。’
系统催促：【宿主？】
盛明安思索片刻，在姑娘倒浓茶过来轻声回谢谢，便在脑海里回答系统：‘我的东西。’
就很简单的理由，那他的东西，就算前世学过的那些攻破技术难点的知识现在属于他，可被创造出来的技术属于他。
而光刻机固然重要，却到火烧眉头的地步，需要抢夺原该属于他人的运道。
他说：‘为什问我这问题？’
系统：【为我理解。】
盛明安：‘你该比我更解吗？’
系统：【？】
盛明安：‘你没发现？黑科技程序给出的每一道关卡，似未来的黑科技，实则基础建立在过去物理伟人的理论和发现，只过程序将它们归纳起来激发我的灵感。’
连续破解两道关卡后，盛明安才透黑科技程序的套路，无论关卡还所谓奖励要只告诉他一道答案本来就必然的结，要给似而非的所谓提醒，他再根据这些已的提醒和前人的结论断深思、追寻和解锁，才得出属于他的成。
盛明安知道前世没他，除光刻机之外，量子纠错的算、拍瓦级激光系统方案究竟会谁解决。
他些好奇，于问出来。
系统：【……知道。】
盛明安：‘？’
系统：【记录被销毁。】
盛明安：‘记录没销毁前，你也知道？’
系统：【记得。】
系统也发现问题，它启动自检程序，从外到内全面搜索。
盛明安喝杯浓茶，眼中若所思。
***
蓝河科技的每人都很忙，研发部更忙得脚沾地，作为研发部副部长的计海为被策反而当商业间-谍，人生头一次这积极来上班，却也每天都在办公室里喝茶报。
偶然一天发现研发部突然忙碌起来，计海警觉，以为新动作，赶紧喊杜颂来问话：“研发部什新突破？姓陈的小子和他那小白脸情夫最近忙什？”
上次塞给杜颂一张存十万的银-卡，杜颂没还回来，计海默认他自己人，这会问话毫无顾忌。
杜颂想起陈惊璆的叮嘱，如计海问话就透露点消息，让他带给郑河。
“研发部在盛神带领下准备攻破光源系统的核心技术问题，项目已经开启。”杜颂如实说：“林工忙着带领团队设计芯片，至于陈总，好像在洽谈合作、投资之类的。”
计海点懵，这说跟没说区别？
“度呢？”
“什度？”
“核心技术？合作投资的项目？！”
“那我哪知道！”
“你——！”
计海觉得自己该找杜颂这蠢货，他忍下怒气小声劝说：“我跟鸿芯那边说，人家表示很欢迎技术人才。你要想通，带点研发部那边的资料去见郑总。”
杜颂含糊：“我再想想。”
计海心里想别的，没多劝，摆手让他出去，回头翘班去找郑河将杜颂提供的情-报交过去，换来郑河的冷。
“蓝河科技一直双担ic设计和光刻机的光源系统制造，业界内都知道的消息！林成建的身份，我早查清！陈惊璆四处拉投资、找合作，到处碰壁，你以为我知道？！”郑河些愤怒：“你耍我？！”
计海擦着额头冒出的冷汗，慌乱否认：“……”
郑河重重冷哼，审度计海的目光如刀片般，似乎对计海的才能产生怀疑：“那些科研成真你的？”
计海连连点头：“当然都我的！郑总，您说我一搞科研的，怎做得来内-应这种事？”
如科研人员大多非长袖善舞，郑河早踹开计海。
“虽然你搜来的消息都没用，过这也说明蓝河科技最近确实处境艰难。”郑河脸色缓和些，冷着说：“蓝河科技拉到投资，革芯项目没人好，陈惊璆居然想办解决迫在眉睫的资金问题，而跑去各研究团队找他们合作攻破光刻机技术！”
“哈哈哈哈……”郑河摇头，上下摇晃着食指嘲讽：“蠢！天真！然还太年轻！技术核心没错，但这做就缘木求鱼！”
攻破核心技术哪那容易？
那些科研团队从立项到拿到资金再到解决关键技术问题并实现产业化，可都一朝一夕的事！
陈惊璆以为就他聪明、就他们想到这联合技术链的办？
单说那光刻机双工作台的核心技术，11年获得国家02专项立项至今，思念过去还没出结。
技术攻破首要资金，没资金学人开什公司？做什技术开发？
凭那点天真热血的冲动想而忽略脚下牢靠的基石，太蠢。
郑河如冷漠傲慢的想着，打发走计海，将消息简单汇报给陈天鹤。
陈天鹤正从私人专机上下来，落到美国的土地上。
“陈惊璆的事以后用跟我说。”陈天鹤冷漠的说。
他抬头观这座灯火通明的城市——
加利福尼亚州圣迭戈市，高通总部。
陈天鹤此的目的。
***
光源系统光刻机制造的核心，晶圆光刻工程的起始步，与光刻工程后续每一步息息关。
光源系统主要大单元光的产生、收集和均一化，初光刻机的光源系统还包括光的纯化，但第四、第五的激光器产生的光源已经达到要求，只需要让光均匀化就。
光雕刻的工具，由激光器产生，涉及项技术指标即光刻分辨率、套刻精度和产能。
光刻分辨率一道计算公式，照公式调整影响数从而提高光刻分辨率，这方面难度大，但受掩膜设计、抗蚀剂工艺等牵制，必须同达到最佳化才能实现理想的光刻分辨率。
套刻精度与光刻分辨率关，直接受其影响。
至于产能，则与光源系统的稳定关。
以上对激光器的要求，对整光源系统的技术要求算高，系统工程程序中最难的步骤光的收集。
收集难度大，转化效率也低。
雷客坐在电脑前，操纵鼠标在软件里做精密的计算：“所需的极紫外光必须在真空下反射，能被折射，为它非常容易被吸收。真空腔内的反射镜需要特殊镀膜，把这束光，从光源一路引导到晶圆……经过十e次反射，最终剩下的光线到2%！”
围观过来的研发部成员倒吸一口凉气，虽早知光源转化率低，但到这数字还低得让他们心疼。
光源转化率低就意味着能量的巨大消耗，最直观的例子，一台euv机器输出功率两百瓦左右，工作一天，耗电万度。
光线利用率到2%已经优化其他性能所能够得到的最佳数据，决定该性能优化的决定性关键就反射镜的精度。
“精度必须以皮秒来计算。”
换句话说，光刻机所需的反射镜精度必须打磨到万亿分之一米。
盛明安：“用硅和钼反复镀膜，直到光线利用率达到国际标准。”
当下人反驳：“都纳米级镀膜，反复镀膜也会影响精度，工艺太难！”
难度多大？
最浅显易懂的比喻便将一面直径超过四十厘米的反射镜放大至覆盖地面，其平面起伏能超过一根头发的直径。
而光刻机所需的反射镜多达四五十层，平面精度一层比一层要求更平整。
全球只德国蔡司这家传承以上的企业才造得出这种反射镜。
当然，反射镜对华出口。
盛明安：“用担忧反射镜能能被打磨出来，你们只需要尽己所能考虑反射镜在光的收集和转化率这一单元里，能够被如何利用到极致。”
“数据、模型，管失败成功，统统记录下来。”
盛明安语速打机关-枪似的，斩钉截铁、容置喙，仿佛难度高到爆表的光源系统在他眼里层次分明、井然序，所的技术难点都可以被轻松解决。
他胸成竹，心沟壑。
他必开口安慰，只要用平淡轻松的口气下达每一道指令就能安定实验室每人退怯、自信的心。
“杜颂，打开你的delica先初步的超精密激光器建模仿真。”
delica一款可实现复杂的物理系统仿真建模的计算机语言软件，可用于光刻机某些超精密部件的仿真建模。
杜颂：“已在创建。”
他领着自己小组成员低头忙碌。
“雷客，你调整一下光路结构。”
“好。”雷客示意助手打开opc（光学邻近矫正）软件，通过模型动态仿真结计算查找表修正光与图案。
盛明安匍匐在桌案，设计市场需求的激光光源，就目前的技术发展而言，光刻机激光光源仍以激光等离子体为主。
驱动光源产生的碎屑数量，光谱纯度，每提高一技术节点消耗的功率和产能……其实日前最先的euv，其功率消耗大、产能低，再过五六年也未能完美解决这两问题。
可盛明安清楚。
他虽愿用前世记忆盗窃他人成提前制造出国产光刻机，可前世他完美解决euv产能低的问题，此习惯性顺手将这难题归入待解决列表之一。
以至于后来一举攻破该技术节点实现反超asml目标，实属意料之外。
***
15年5月份左右，国际半导体发生一件大事。
asml官网对外发布突破光刻机量产瓶颈，正式对外售出可量产14nm极紫外光刻机！
此举瞬间激起千层浪，全球各界媒体报道休，半导体发烧友热闹得跟过年一样纷纷发表讨论。国内贴吧、技术论坛和逼乎新帖断，基本都讨论asml这一举措将带来怎的影响。
【光刻巨人：asml真正的崛起！】
国内科技网对asml的新闻标题被搬到国内电子发烧友论坛，论坛主搬来这标题就已经表明他对未来全球半导体地位的划分认可。
【如标题所说，从今以后，asml唯一的光刻巨人！】
【佳能、尼康的消失，光刻机百花齐放共竞争的一去复返，将来只asml一骑绝尘的身影！】
【虽然想承认，但欧美又在一重要的领域里实现科技霸权！】
【诸位，配合英特尔、高通今年年初发布的将于15年实现14nm核心处理器、年末实现10nm核心处理器的新闻发布会食用，而国产光刻机还停留在365nm光波长的第光刻机技术节点！】
【拉开两，落后二十年。】
【华国被死死扼住半导体产业的喉咙……】
【感到窒息。】
另一贴没这丧气，但基本在吹asml，回顾asml的历程，曾经也过半生死的小公司……
【谁还能记得曾经的asml濒临倒闭？】
【那候的尼康和佳能才霸权半导体领域的大佬，可惜封杀台积电林大佬的浸润技术emmmm结最后被asml捡漏。】
【asml的崛起之路从这一步开始[滑稽]。】
【命运真奇妙，谁能料到最后会名见经传的阿斯麦尔抢先一步研发出第五光刻机？】
【小声插一句，我国机会研发14nm光刻机吗？】
【？？asml肯卖给我们一台euv就偷，还自主研发？做梦呢！】
【肯定告诉你：！二十年后！】
【过那候的半导体可能已经发生翻天覆地的变化，摩尔定律失效，现的光刻机技术臻至极限再寸，或许出现新的机器替光刻机，量子定律取摩尔定律……我们再次被甩开二十年。】
【也必这悲观，或许二十年后，华国光刻机技术实现超英赶美。】
【摩尔定律没那轻易被取，你以为重新诞生一定律很容易？】
【盛神解决量子纠错的难题吗？很多人深受鼓舞，投入量子课题研究。只要某领域天才成群结队而来，天大的难题被解决也只间的问题。】
……
【怎跑题？】
【说回正题，祈祷美帝会一我们爽就对我们实芯片制裁吧。】
【什意思？】
【asml控股大头美帝公司！】
蓝河科技。
林成建步伐匆匆入研发部的休息室，室内盛明安和陈惊璆都在，还雷客、杜颂等人，他们一边吃中午饭一边继续商讨研究项目。
“到最新消息没？”
盛明安：“asml euv发布会。”
“对！”林成建坐下来擦汗，接过雷客倒来的水说：“现在全球订单飞向asml，一台售价1.2亿美金，订单排到18年。”
光刻机工艺复杂，就算asml一年也只能造出十e台。
“华芯的人也去下订单。”
杜颂急问：“怎样？”
盛明安用问也知道结，陈惊璆则安静的挑出碗里的辣子鸡块规整放到一旁的饭盒盖上，然后推给盛明安。
陈惊璆：“我吃辣。”
盛明安抬眼，扫眼他那碗e乎没动过的辣子鸡，信。
辣子味道又香又麻呛喉咙，鸡肉嫩滑多汁，吸收辣子的香味，吃起来很刺激舌尖。
盛明安很喜欢，他说：“谢谢。”
陈惊璆着他。
对面一姑娘来回两人，心想盛神跟老板太基吧。
林成建：“被拒绝。”
杜颂：“艹！”
其他人心情激愤却也无可奈何，谁让他们的技术就落后人家十e二十年？
落后活该挨打呗。
欧美各国遵守的《瓦森纳协议》就专门针对禁止对华输入高阶精密科学仪器和技术，asml敢违背协议，自然拒绝对华销售euv。
没euv，他们还得从台积电，从英特尔、高通等美帝企业那儿购买芯片，巴巴送钱过去人脸色。
休息室众人情绪低沉，盛明安察觉到，自顾自吃饭，吃完就拿起手边的热水慢吞吞喝两口解腻，浑身通透的舒服。
作者有话要说： 光刻机是真的难啊，太难了。
连概括它的技术难点都概括不过来的困难，从头到脚就一个字：难！